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一、產(chǎn)品說明 基于一些特定的粗略(微小)真空設(shè)備內(nèi)被測氣氛復雜,一般均非單一氣體(如空氣或氮氣等)成份﹙如含有占比較多的氫氣、碳氫化合物、惰性氣體等特殊氣體﹚,但常用的相對真空計如熱導式熱偶計、電阻計(皮拉尼真空計),由于測量值與氣體成份有關(guān),因此此類真空計均不能滿足這種復雜氣氛測量與控制的需要,亦即應(yīng)選用測量值與氣體成份無關(guān)的真空計